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译码半导体申请半导体晶片厚度的检测装置专利检测结果更为精确—必威中国官网
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译码半导体申请半导体晶片厚度的检测装置专利检测结果更为精确
时间:2025-01-04 09:41:02 点击次数:

  金融界2024年12月19日消息,国家知识产权局信息显示,东莞市译码半导体有限公司申请一项名为“一种半导体晶片厚度的检测装置”的专利,公开号 CN 119132992 A,申请日期为2024年9月。

  专利摘要显示,本发明提供一种半导体晶片厚度的检测装置,涉及半导体晶片加工技术领域。该半导体晶片厚度的检测装置,通过设计气缸、第一移动机构和放置组件,晶片能够通过微型气泵将空腔形成负压,从而将晶片吸附在放置板的表面,较传统的夹持机构而言,避免了其易对晶片的表面造成划痕的情况,同时,气缸和第一伺服电机能够分别从两个水平方向驱动检测头进行位移,从而检测晶片不同位置的厚度,能够辨别晶片整体是否厚度相同,以及晶片的最大厚度和最小厚度是否合格,检测结果更为精确,通过设计第二移动机构和活动板,活动板上方设置有三组放置组件来放置晶片,在配合活动板的往复移动,单组晶片在检测时,能够对另外的放置组件装载晶片,效率更高。

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