2、真空泵的极限真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。
3、真空泵的抽速要大于工艺过程中的大放气量。为保证真空度，真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的，真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的大放气量。
4、真空泵选型中，选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用，尤其是在医药、化工、电池等领域，抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体，这时就要求设备要有相应的防腐措施。
5、需连续生产的工艺中，所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时，设置自动更换的备用真空泵，减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小，可以设置维持泵，以实现节能降耗。
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